通過聚焦透鏡后，光束可以直接或通過偏轉系統(tǒng)偏轉后用于焊接。它由兩對線圈組成，每個X和Y方向一個。這些可以用于“靜態(tài)”或“動態(tài)”偏轉。靜態(tài)偏轉對于通過焊接定位梁很有用。動態(tài)偏轉是通過向偏轉線圈提供可由計算機控制的電流來實現(xiàn)的。這為電子束應用開辟了新的可能性，例如表面硬化或退火，的電子束定位等。

快速偏轉系統(tǒng)也可以用于成像和雕刻（如果配備了適當?shù)碾娮釉O備）。在這種情況下，設備像掃描電子顯微鏡一樣操作，分辨率約為0.1毫米（受光束直徑限制）。在類似的模式下，由計算機控制的細光束可以通過熔化薄的表面層在金屬表面“寫”或“畫”圖片。

電子束設備為束發(fā)生器提供適當?shù)碾娫础＜铀匐妷嚎梢栽?0到200 kV之間選擇。通常取決于各種條件，約為60或150 kV。隨著電壓的升高，技術問題和設備價格迅速上升，因此，只要有可能，就應選擇大約60 kV的較低電壓。高壓電源的xxx功率取決于所需的焊接深度。

電子束焊機加工是在真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，帶負電荷的電子束高速飛向陽極，途中經(jīng)加快極加快，并經(jīng)過電磁透鏡聚集，使能量密度十分會集，可以把一千瓦或更高的功率會集到直徑為5～10μm的斑駁上，獲得高達109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度，可使任何材料被沖擊部分的溫度，在百萬分之一秒時間內(nèi)升高到攝氏幾千度以上，熱量還來不及向周圍擴散，就已把局部材料瞬時熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著孔不斷變深，電子束焊機照耀點亦越深入。由于孔的內(nèi)側壁對電子束發(fā)生"壁聚集"，所以加工點或許到達很深的深度，從而可打出很細很深的微孔。

20 世紀 60 年代初，電子束焊機逐漸運用于飛機制造業(yè)和宇航工業(yè)中名貴金屬的焊接。跟著現(xiàn)代航空和宇航等技術的運用而敏捷展開起來，成功地處理了為現(xiàn)代產(chǎn)品而展開的各種新式材料的焊接問題。電子束焊接并且在汽車工業(yè)、船舶工業(yè)和機械制造業(yè)等領域運用也日益廣泛。

一臺典型的真空電子束焊機首要包括了主機，控制箱，高壓電源，真空抽氣系統(tǒng)和監(jiān)測控制器四大部分。
1.真空電子束焊機主機由電子槍、真空室和工件傳動系統(tǒng)及操作臺組成。
2.真空電子束焊機的高壓電源包括：陽壓主電源、陰極加熱電源，以及束流控制用高壓電源系統(tǒng)。
3.真空電子束焊機的控制箱包括：高壓電源控制設備、電子槍陰極加熱電源的控制系統(tǒng)、束流控制設備、聚集電源控制設備，以及束偏轉發(fā)生器等。
4.真空抽氣系統(tǒng)包括：電子槍抽氣系統(tǒng)、作業(yè)室抽氣系統(tǒng)?以及真空控制及監(jiān)測設備。